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  • 特点:

    1.   采用全封闭式铝型材结构,将磁铁及磁轭部分完全与靶筒内的冷却水分隔开,避免因长期浸水腐蚀引起的磁场变化

    2.   型材式结构大幅加强了磁钢的刚性,避免磁钢变形与靶筒发生摩擦产生的磁场变化

    3.   磁场调整结构采用螺纹式设计,使得磁场均匀性的调整更加精密

    4.   出水孔的独特设计使冷却水有效冷却溅射靶材高温区,冷却效果更佳

    5.   安装维护简易方便


    类型

    参数

    MB3300

    MB2540

    MB1400

    磁棒长度(mm

    3850

    3192

    1920

    表面磁场强度

    >550GS

    磁场均匀性

    ≤±1.0%

    磁场可调范围

    ≤±25%



  • 类型

    参数

    MB3300

    MB2540

    MB1400

    磁棒长度(mm

    3850

    3192

    1920

    表面磁场强度

    >550GS

    磁场均匀性

    ≤±1.0%

    磁场可调范围

    ≤±25%




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